Nano

Kalibrering på højeste plan

 Kalibrering ned i nanometerskala kræver helt specielt udstyr. DFM er verdensførende inden for blandt andet kalibrering af stephøjde og gitterperioder og alle målinger er sporbare til en primær normal for længde.

Silicium liniegitre

Karakterisering af silicium liniegitre

DFM kan tilbyde karakterisering af silicium liniegitre, udtrykt ved liniebredde (CD), højde samt vinkel af sidevæg. DFM mestrer førende skatterometri-teknologi til opmåling af de essentielle parametre for silicium liniegitre.

Teknikken kombinerer skatterometri med avanceret databehandling for at opnå lave og ganske attraktive niveauer af usikkerhed. Teknikken har ikke de samme dimensionelle begrænsninger som mikroskopi-teknologier som f.eks. AFM eller SEM.

Akkrediteret kalibrering i området:

Periode: 200 – 2000 nm

Højde: 100 – 600 nm

Duty cycles: 0,2 og 0,8

Kontakt person

Jonas Skovlund Madsen

Forsker, Nano
+45 2545 9035
jsm@dfm.dk

Datablad

Sidevægsvinkel: 0 – 45 grader

Ønskes kalibrering udenfor disse områder så kontakt os for mere information.

Akkrediterede kalibreringer udføres i henhold til DANAK Akkreditering Reg. Nr. 255 samt vores internt ISO 9001 certificerede kvalitetssystem.

Lagtykkelse og brydningsindex

Optisk karakterisering af lagtykkelse og brydningsindeks for multilag tyndfilm

DFM kan tilbyde ellipsometrisk karakterisering af lagtykkelse og brydningsindeks for multilag tyndfilm emner.

Kalibrering i området:

Lagtykkelse 2 nm – 10 µm

Ønskes kalibrering udenfor disse områder så kontakt os for mere information.

Datablad

Kontakt person

Poul Erik Hansen

Senior Forsker, Nano
+45 2545 9022
peh@dfm.dk

2D gitter perioder

2D gitter periode kalibrering

DFM kan tilbyde kalibrering af 2D gitter perioder ved brug af Atomic Force Microscopy (AFM) og konfokal mikroskopi.

Akkrediteret kalibrering i området:

Størrelse: 1 µm – 50 µm

Kalibrering uden for akkreditering i området:

Størrelse: 50 µm – 200 µm

Ønskes kalibrering udenfor disse områder så kontakt os for mere information.

Kontakt person

Poul Erik Hansen

Senior Forsker, Nano
+45 2545 9022
peh@dfm.dk

Datablad

Akkrediterede kalibreringer udføres i henhold til DANAK Akkreditering Reg. Nr. 255 samt vores internt ISO 9001 certificerede kvalitetssystem.

Stephøjde

Kalibrering af stephøjde

DFM kan tilbyde kalibrering af stephøjde foretaget ved brug af Atomic Force Microscopy (AFM), konfokal mikroskopi og interferens mikroskopi.

Akkrediteret kalibrering i området:

Højde: 30 nm – 175 µm

Kalibrering uden for akkreditering i området:

Højde: 2 nm – 5 mm

Ønskes kalibrering udenfor disse områder så kontakt os for mere information.

Akkrediterede kalibreringer udføres i henhold til DANAK Akkreditering Reg. Nr. 255 samt vores internt ISO 9001 certificerede kvalitetssystem.

Datablad

Kontakt person

Poul Erik Hansen

Senior Forsker, Nano
+45 2545 9022
peh@dfm.dk

Mikroadhæsion

Udmåling af mikroadhæsion

DFM kan tilbyde udmåling af adhæsion for overflader og partikler på mikro- og nanoskala ved hjælp af Atomic Force Microscopy (AFM). Vores metode har den fordel, at den er billeddannende med en høj opløsning. Vi kan anvende både spidse prober, for at opnå den højest mulige opløsning, og sfæriske prober, for at opnå den laveste måleusikkerhed for adhæsionsmålingen.

Målingerne kan gennemføres over et bredt temperatur- og fugtområde, både i luft og i væske.

Udmåling i området:

Adhæsion: 50 pN – 100 µN

Temperaturområde (luft): 4 – 180 °C

Tempraturområde(væske): 22 – 60 °C

Kontakt person

Jørgen Garnæs

Senior Forsker, Nano
+45 2545 9018
jg@dfm.dk

Datablad

Fugt område: 11% til 85% rH

 

Ønskes kalibrering udenfor disse områder så kontakt os for mere information.

 

Mikrokrystaller

Udmåling af mikrokrystaller

DFM kan tilbyde karakterisering af den nano- og mikro-skala strukturelle stabilitet af mikrokrystallers overflader ved forskellig temperatur og fugtighed.

Udmåling i området:

Størrelse: op til 1 mm

Ønskes kalibrering udenfor disse områder så kontakt os for mere information.

Datablad

Kontakt person

Jørgen Garnæs

Senior Forsker, Nano
+45 2545 9018
jg@dfm.dk

3D printet overflader

Udmåling af 3D printet overflader

DFM kan tilbyde måling af topografi og ruhed på 3D printet overflader med konfokal mikroskopi og interferens mikroskopi.

DFM kan foretage flere forskellige prøvninger af 3D printede overflade som for eksempel:

  • Ruhed
  • Synlig porrestørrelse
  • Lagstruktur
  • Tykkelse

Ønskes kalibrering udenfor disse områder så kontakt os for mere information.

Kontakt person

Jørgen Garnæs

Senior Forsker, Nano
+45 2545 9018
jg@dfm.dk

Datablad

Optiske gitre

Profiludmåling af optiske gitre

DFM kan tilbyde profil udmåling af optiske gitre. Ud over periode og stephhøjde kan fyldningsgraden/bredden af linjerne udmåles samt sidevæggenes vinkler og ruhed.

Denne nøjagtige udmåling af et optiske gitters profil kan bruges til at optimere den optiske funktion og til kvalitetskontrol af det færdige gitter.

Udmåling i området:

Periode: 200 nm – 200 µm

Højde: Afhænger af perioden

Duty cycle: Afhænger af perioden

Ønskes kalibrering udenfor disse områder så kontakt os for mere information.

Datablad

Kontakt person

Søren A. Jensen

Senior Forsker, Nano
+45 2545 9037
saj@dfm.dk

Vinkelmålinger

Vinkelmålinger

DFM kan tilbyde kalibrering af vinkelstandarder og drejegivere udført via optiske metoder med sporbarhed til internationale standarder.

Udmåling i området:

Vilkårlig vinkelspan

    Ønskes kalibrering udenfor disse områder så kontakt os for mere information.

    Kontakt person

    Søren A. Jensen

    Senior Forsker, Nano
    +45 2545 9037
    saj@dfm.dk

    Datablad

    Vil du i dialog med DFM?